Предприятия Научного дивизиона госкорпорации «Росатом» – АО «НИИ НПО «ЛУЧ» и АО «Гиредмет» – в рамках программы Минпромторга России «Развитие электронного машиностроения на период до 2030 года» создали собственное производство особо чистых красного фосфора и оксихлорида фосфора. Эти вещества критически важны для выпуска компонентов микроэлектроники: чипов, транзисторов, диодов и интегральных схем.
Ранее Россия импортировала более 80% из примерно 2,5 тысячи материалов, необходимых для производства чипов, включая красный фосфор и оксихлорид фосфора. Как отметил директор по научным государственным программам АО «Росатом Наука» Иван Мазилин, современные требования к содержанию основного вещества красного фосфора для ионной имплантации составляют 99,9999%. Производство красного фосфора такой чистоты организовано в России впервые.
Реализация проекта заняла около 2,5 лет. Весь комплект технологической документации подготовили специалисты «Гиредмета». Участок с технологической линией организовали на площадке НИИ НПО «ЛУЧ» в Подольске, запустив линию в 2025 году. Поскольку соединения фосфора вредны для человека, технологический процесс максимально автоматизирован.
В качестве сырья используются технический красный фосфор, из которого получают трихлорид фосфора, затем подвергают многоступенчатой очистке и переводят в конечные продукты: оксихлорид фосфора, триметилфосфат и высокочистый красный фосфор. Товарный особо чистый красный фосфор представляет собой гранулированный сыпучий материал, а чистый оксихлорид фосфора и триметилфосфат выпускаются в жидкой форме.
Приёмка госконтракта подтвердила, что качество продукции соответствует высокой степени чистоты. Специалисты «Росатома» доказали возможность выпускать востребованную продукцию для удовлетворения спроса на отечественном рынке микроэлектроники.
В настоящее время в Научном дивизионе ожидают получения сертификата СТ-1 и готовят заявку на включение веществ в реестр отечественной промышленной продукции. В дальнейшем особо чистый оксихлорид фосфора может быть использован в химическом синтезе, при производстве солнечных панелей, а также оптического волокна.
Кроме того, одним из важных результатов работы стало создание в Научном дивизионе «Росатома» центра компетенций по продуктам на основе особо чистого фосфора, способного решать новые научно-технические задачи и обеспечивать поставки разработанной продукции.
Источник: Росатом
Оцените новость 0 0 0 0 0 0 0