На заседании секции №4 «Технологии и компоненты микро- и наноэлектроники» научной конференции форума «Микроэлектроника-2025» руководитель Кристального производства АО «ЗНТЦ» Денис Веретенников рассказал о статусе реализации GaN-технологии на площадке наноцентра. В рамках своего доклада Денис Александрович продемонстрировал актуальные результаты разработки GaN-технологии для силовой и СВЧ-электроники, а также подробно остановился на плане и перспективах по запуску Foundry-сервиса.
«Освоение технологии GaN-Si и КИП для СВЧ и силовых применений на нашей технологической площадке позволяет начать полноценную работу нашего предприятия в режиме foundry. Данный шаг обеспечивает основу для устойчивого развития ключевых направлений и формирует задел для внедрения передовых решений в российскую промышленность», – отметил Денис Александрович.
Создание изделий на основе нитрида галлия является одним из приоритетных направлений научно-технического развития Российской Федерации.
ЗНТЦ уже несколько лет ведет комплексную работу по разработке и отработке технологических процессов производства GaN(Si)-силовых и СВЧ-модулей. Наличие развитой инфраструктуры полного цикла кристального производства, исследовательского и технологического оборудования, а также возможности работы с золотом на всех этапах изготовления приборов позволило центру решать задачи создания конкурентоспособной GaN-электроники на собственной площадке.
С 2023 года ЗНТЦ реализует опытно-конструкторскую работу по разработке типовых технологических процессов (ТТП) для производства СВЧ МИС и силовых компонентов на основе гетероэпитаксиальных структур нитрида галлия на пластинах диаметром 150 мм с проектными нормами до 0,25 мкм. Ключевая цель ОКР – обеспечить российские дизайн-центры комплексным инструментом проектирования (КИП) для разработки СВЧ-приборов в диапазоне до 18 ГГц и силовых транзисторов с напряжением сток-исток до 650 В. Завершен третий этап работ: созданы рабочие версии комплектов технологической документации на ТТП GH025D и GP08E. Четвертый, заключительный этап предполагает проведение испытаний ТТП и КИП.
По итогам завершения ОКР АО «ЗНТЦ» получает полностью замкнутый цикл производства GaN(Si)-силовой и СВЧ-электроники и переходит в режим Foundry. Уже сейчас ведется подготовка к запуску Foundry-сервиса, который предоставит российским дизайн-центрам и предприятиям радиоэлектронной промышленности доступ к библиотекам проектирования и возможность размещать заказы на производство GaN-компонентов в Зеленограде. Запуск запланирован на 2026 год.
Источник: АО «ЗНТЦ»
Оцените новость 0 0 0 0 0 0 0